一、設(shè)備基本原理與特點(diǎn)

1.基本原理：
熱誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積(英語(yǔ):chemical vapor deposition ,CVD)是用于各種電介質(zhì),半導(dǎo)體和金屬材料的保護(hù)涂層的沉積的有力方式，無(wú)論是單晶，多晶，無(wú)定形或外延狀態(tài)上或大或小的形態(tài)。典型的涂層材料包括熱解碳，碳化硅，氮化硼。通過(guò)使用合成前體，涂層非常純凈并目滿足半導(dǎo)體工業(yè)的典型要求，根據(jù)工藝參數(shù)，可以有多種層厚度，從單個(gè)或幾個(gè)原子層到厚度從10納米到數(shù)百微米的固體保護(hù)層或功能層，以及厚度達(dá)100微米的單片部件，甚至高達(dá)數(shù)毫米。

2.設(shè)備特點(diǎn)：
（1）采用臥式、側(cè)開門結(jié)構(gòu)，裝、卸料精度高，操作方便；
（2）采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；
（3）溫度均勻性好，平均溫度均勻性為±5℃；
（4）采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
（5）全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
（6）安全性能好，采用HMI+PLC+PID程序控制，安全可靠；
（7）對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；
（8）多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能高效收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；
（9）采用設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低。

二、C2GR16-立式氣相沉積爐(主要技術(shù)參數(shù)：